Al离子注入/高温退火致4H-SiC晶体应力场对基面位错演化的影响机制及其与器件特性的相关性
批准号：
62401157
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
30.00 万元
负责人：
左元慧
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
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批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
左元慧
关键词：
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