A Global Correction Process for Flat Optics With Patterned Polishing Pad
A Global Correction Process for Flat Optics With Patterned Polishing Pad
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带有图案抛光垫的平面光学器件的整体校正工艺
DOI：
10.1115/1.4044250
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发表时间：
2019-09
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Guo Dongming
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li Weisi;Zhou Ping;Geng Zhichao;Yan Ying;Guo Dongming
为了提高平面光学元件的加工效率，提出了一种利用图形化抛光垫进行全局校正的方法。通过在抛光垫上形成沟槽，可以调节光学元件表面上的接触压力分布，从而改变抛光过程中的材料去除率（MRR）分布。使用图案化垫，抛光工艺的选择性去除能力大大增强。MRR分布的可预测性和稳定性是有效实施所提出的全局校正方法的前提。基于本文提出并验证的MRR分布预测方法，可以根据工件的原始表面形状设计焊盘图形。使用定制开发的设备在抛光垫上创建设计的凹槽图案。然后，在优化的抛光时间下，在设计的抛光垫上对光学玻璃进行抛光。通过对Φ 100 mm平面光学玻璃样品的抛光实验，验证了整体修正法的可行性和优越性。校正实例表明，使用具有两个环形凹槽的聚氨酯垫，表面轮廓的峰谷（PV）值（3 mm边缘排除）在14 min内从1.17 µm降至0.2 µm。与传统的抛光工艺相比，该方法通常需要几个小时或几天的时间，本文提出的全局校正方法可以显着提高光学制造的效率。
To improve the efficiency of flat optics fabrication, a global correction method with the patterned polishing pad is developed in this paper. Through creating grooves on a polishing pad, the contact pressure distribution on the optics surface can be adjusted to change the material removal rate (MRR) distribution during polishing. Using the patterned pad, the selective removal ability of the polishing process is greatly enhanced. The predictability and stability of the MRR distribution are the preconditions to efficiently implement the proposed global correction method. Relying on the MRR distribution prediction method proposed and validated in this paper, the pad pattern can be designed based on the original surface figure of the workpieces. The designed groove pattern is created on the polishing pad using the custom-developed equipment. Then, the optical glass is polished on the designed pad with the optimized polishing time. A flat optical glass sample (Φ 100 mm) is polished with the global correction method to show its feasibility and advantage. The correction instance shows that the peak-to-valley (PV) value of the surface profile (with 3 mm edge exclusion) dropped from 1.17 µm to 0.2 µm in 14 min using a polyurethane pad with two ring grooves. Comparing with the conventional polishing process, which usually takes hours or days, the global correction method proposed in this paper can improve the efficiency of the optics manufacturing significantly.
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DOI：
10.1117/12.453619
发表时间：
2001-12
期刊：
--
影响因子：
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作者：
J. Degroote;S. Jacobs;Leslie L. Gregg;A. E. Marino;J. C. Hayes
通讯作者：
J. Degroote;S. Jacobs;Leslie L. Gregg;A. E. Marino;J. C. Hayes
DOI：
10.1007/s00170-011-3215-8
发表时间：
2011-03
期刊：
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
影响因子：
--
作者：
Ian Hu;Tian-Shiang Yang;Kuo-Shen Chen
通讯作者：
Ian Hu;Tian-Shiang Yang;Kuo-Shen Chen
DOI：
--
发表时间：
2002-07
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Owat Sunanta
通讯作者：
Owat Sunanta
DOI：
10.1117/3.2589608.ch76
发表时间：
2021-08
期刊：
Field Guide to Infrared Optical Materials
影响因子：
--
作者：
Alan Symmons;Mark Lifshotz
通讯作者：
Alan Symmons;Mark Lifshotz
影响因子：
3.8
作者：
Li, Yaguo;Hou, Jing;Guo, Yinbiao
通讯作者：
Guo, Yinbiao