Sub-nanometer flattening of 45 cm long, 45 actuator x-ray deformable mirror.
Sub-nanometer flattening of 45 cm long, 45 actuator x-ray deformable mirror.
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45 厘米长、45 驱动器 X 射线变形镜的亚纳米扁平化。
DOI：
10.1364/ao.53.003404
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
B. Macintosh
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
L. Poyneer;T. Mccarville;T. Pardini;D. Palmer;Audrey D. Brooks;M. Pivovaroff;B. Macintosh
我们用超抛光单晶硅制造了一个45厘米长的x射线可变形镜（XDM），它沿着切向轴有45个致动器。装配后，表面高度误差为19 nm rms。利用高精度的可见光测量和精确的控制算法，我们驱动了XDM，并将其整个表面平整到0.7 nm的均方根可控图形误差。据我们所知，这是第一个亚纳米长度超过15厘米的衬底的主动平坦化。
We have built a 45 cm long x-ray deformable mirror (XDM) of super-polished single-crystal silicon that has 45 actuators along the tangential axis. After assembly, the surface height error was 19 nm rms. With use of high-precision visible-light metrology and precise control algorithms, we have actuated the XDM and flattened its entire surface to 0.7 nm rms controllable figure error. This is, to our knowledge, the first sub-nanometer active flattening of a substrate longer than 15 cm.
影响因子：
19.6
作者：
Mimura, Hidekazu;Handa, Soichiro;Yamauchi, Kazuto
通讯作者：
Yamauchi, Kazuto
用于 10nm 以下硬 X 射线聚焦的自适应光学系统
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
作者：
K.Yamauchi;et al.
通讯作者：
et al.
开发用于硬X射线纳米束波前校正的自适应镜
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
Proceeding of SPIE 7077
影响因子：
--
作者：
T. Kimura;et.al.
通讯作者：
et.al.