Planarization of amorphous carbon films on patterned media using gas cluster ion beams
Planarization of amorphous carbon films on patterned media using gas cluster ion beams
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使用气体团簇离子束对图案介质上的非晶碳膜进行平坦化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Toyoda;K. Nagato;H. Tani;Y. Sakane;M. Nakao;T. Hamaguchi;I. Yamada
开发用于低损伤加工的尺寸选定的气体团簇离子束系统
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research B 241
影响因子：
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作者：
N.Toyoda;S.Houzumi;I.Yamada
通讯作者：
I.Yamada
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
IEEE Trans. Magn. 44
影响因子：
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作者：
K. Nagato;H. Tani;Y. Sakane;N. Toyoda;I. Yamada;M. Nakao;T. Hamaguchi
通讯作者：
T. Hamaguchi