The improvement of high power impulse magnetron sputtering performance by an external unbalanced magnetic field
The improvement of high power impulse magnetron sputtering performance by an external unbalanced magnetic field
复制标题
外不平衡磁场提高高功率脉冲磁控溅射性能
DOI：
10.1016/j.vacuum.2016.08.020
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发表时间：
2016-11
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
Jianping Xu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chunwei Li;Xiubo Tian;Chunzhi Gong;Jianping Xu
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影响因子：
4
作者：
Greczynski, G.;Hultman, L.
通讯作者：
Hultman, L.
影响因子：
3.8
作者：
S. Seo;J. In;Hong-young Chang
通讯作者：
S. Seo;J. In;Hong-young Chang
影响因子：
5.4
作者：
P. Raman;I. Shchelkanov;J. McLain;M. Cheng;D. Ruzic;Ian Haehnlein;B. Jurczyk;R. Stubbers;S. Armstrong
通讯作者：
P. Raman;I. Shchelkanov;J. McLain;M. Cheng;D. Ruzic;Ian Haehnlein;B. Jurczyk;R. Stubbers;S. Armstrong
DOI：
10.1088/0953-8984/18/32/s02
发表时间：
2006-08
期刊：
Journal of Physics: Condensed Matter
影响因子：
--
作者：
S. Rodil;Jhon Jairo Olaya
通讯作者：
S. Rodil;Jhon Jairo Olaya
DOI：
10.1088/0022-3727/48/21/215202
发表时间：
2015-04
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
--
作者：
J. Bradley;A. Mishra;P. Kelly
通讯作者：
J. Bradley;A. Mishra;P. Kelly