Evidence for the presence of built-in strain in multicrystalline SiGe with large compositional distribution
Evidence for the presence of built-in strain in multicrystalline SiGe with large compositional distribution
复制标题
具有大成分分布的多晶 SiGe 中存在内置应变的证据
DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
G.Sazaki et al.
中科院分区:
文献类型:
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作者:
N.Usami;T.Takahashi;K.Fujiwara;T.Ujihara;G.Sazaki et al.
DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys. 41
影响因子:
--
作者:
N.Usami;K.Fujiwara;T.Ujihara;G.Sazaki;H.Yaguchi et al.
通讯作者:
H.Yaguchi et al.
影响因子:
1.5
作者:
N. Usami;Y. Azuma;T. Ujihara;G. Sazaki;S. Miyashita;Y. Murakami;K. Nakajima
通讯作者:
K. Nakajima