Evidence for the presence of built-in strain in multicrystalline SiGe with large compositional distribution

Evidence for the presence of built-in strain in multicrystalline SiGe with large compositional distribution
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具有大成分分布的多晶 SiGe 中存在内置应变的证据

DOI:
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发表时间:
2002
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys. 41
影响因子:
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通讯作者:
G.Sazaki et al.
G.Sazaki et al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
N.Usami;T.Takahashi;K.Fujiwara;T.Ujihara;G.Sazaki et al.

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参考文献

被引文献

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DOI: --
发表时间: 2002
期刊: Jpn. J. Appl. Phys. 41
影响因子: --
作者:
N.Usami;K.Fujiwara;T.Ujihara;G.Sazaki;H.Yaguchi et al.
通讯作者: H.Yaguchi et al.
利用晶体-溶液界面的原位监测生长具有均匀成分的 SixGe1-x (x fallingdotseq0.15) 块状晶体
DOI: 10.1143/jjap.40.4141
发表时间: 2001
影响因子: 1.5
作者:
N. Usami;Y. Azuma;T. Ujihara;G. Sazaki;S. Miyashita;Y. Murakami;K. Nakajima
通讯作者: K. Nakajima