Nanoscale structures on ultra-precision machined fluorite surfaces
Nanoscale structures on ultra-precision machined fluorite surfaces
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超精密加工萤石表面的纳米级结构
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
S.Gritschneder
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M.Noji;K.Sasaki;T.Kuriyagawa et al.;S.Gritschneder
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DOI:
10.1016/s0007-8506(07)62716-4
发表时间:
1989
期刊:
CIRP Annals
影响因子:
--
作者:
Y. Namba;R. Wada;K. Unno;A. Tsuboi;K. Okamura
通讯作者:
K. Okamura
DOI:
10.1088/0953-8984/13/10/303
发表时间:
2001
期刊:
Journal of Physics: Condensed Matter
影响因子:
--
作者:
C. Barth;A. Foster;M. Reichling;A. Shluger
通讯作者:
A. Shluger
DOI:
10.1117/12.351106
发表时间:
1999
期刊:
Advanced Lithography
影响因子:
--
作者:
T. Bloomstein;V. Liberman;M. Rothschild;D. Hardy;R. B. Goodman
通讯作者:
R. B. Goodman
DOI:
--
发表时间:
2002
期刊:
Proc.17th Annual Meeting of ASPE
影响因子:
--
作者:
林武文;吉田英代;Y.Namba
通讯作者:
Y.Namba
影响因子:
1.9
作者:
C. Barth;M. Reichling
通讯作者:
M. Reichling