Local Self-Heating of Pyrolyzed Polymer Microstructure for Further Carbonization at Higher Temperature on Silicon Chip

Local Self-Heating of Pyrolyzed Polymer Microstructure for Further Carbonization at Higher Temperature on Silicon Chip
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硅片上热解聚合物微观结构的局部自加热在高温下进一步碳化

DOI:
--
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发表时间:
2008
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics Vol.47, No.12
影响因子:
--
通讯作者:
and S. Konishi
and S. Konishi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
K. Naka;K.Okamoto;and S. Konishi

文献摘要

参考文献

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