3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning electron microscope

3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning electron microscope
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基于阴影云纹的扫描电镜3D微结构测量方法

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Experimental analysis of nano and engineering materials and strictures
影响因子:
--
通讯作者:
Yasuhiko Arai
Yasuhiko Arai
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
H.Fukunaga;H.Murata;T.Yanai;M.Nakano;F.Yamashita;Yasuhiko Arai

文献摘要

参考文献

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影响因子: --
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Y. Arai;S. Yokozeki;Tomoharu Yamada
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