Comparative study of electrical characteristics in (1 0 0) and (1 1 0) surface-oriented nMOSFETs with direct contact La-silicate/Si interface structure

Comparative study of electrical characteristics in (1 0 0) and (1 1 0) surface-oriented nMOSFETs with direct contact La-silicate/Si interface structure
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具有直接接触La-硅酸盐/Si界面结构的(1 0 0)和(1 1 0)表面取向nMOSFET电特性的比较研究

DOI:
10.1016/j.sse.2013.02.021
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发表时间:
2013
影响因子:
1.7
通讯作者:
H. Iwai
H. Iwai
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
T. Kawanago;K. Kakushima;P. Ahmet;Y. Kataoka;A. Nishiyama;N. Sugii;K. Tsutsui;K. Natori;T. Hattori;H. Iwai

文献摘要

参考文献

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发表时间: 2004
期刊: 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (AWAD 2004)
影响因子: --
作者:
T.Hamada.A.Teramoto;H.Akahori;K.Nii;M.Hirayama;T.Ohmi
通讯作者: T.Ohmi