Control of number of nitrogen atom and enthalpy flow into reaction chamber using pulse-modulated induction thermal plasmas

Control of number of nitrogen atom and enthalpy flow into reaction chamber using pulse-modulated induction thermal plasmas
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使用脉冲调制感应热等离子体控制进入反应室的氮原子数和焓流量

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Abstracts of IEEE Conference on Plasma Sciences 1
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Uesugi
Y.Uesugi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y.Tanaka;T.Muroya;K.Hayashi;Y.Uesugi

文献摘要

参考文献

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Time-dependent two-temperature chemically non-equilibrium modelling of high-power Ar–N2 pulse-modulated inductively coupled plasmas at atmospheric pressure
DOI： 10.1088/0022-3727/39/2/011
发表时间： 2006-01
期刊： Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子： --
作者：
Yasunori Tanaka
通讯作者： Yasunori Tanaka