Controllability of Mesoscopic Surface Roughness of Sputtered Al and Al-N Films
Controllability of Mesoscopic Surface Roughness of Sputtered Al and Al-N Films
复制标题
溅射 Al 和 Al-N 薄膜细观表面粗糙度的可控性
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Miyamura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T.Ishiguro;K.Miyamura
喷砂工艺制备的纹理钢化玻璃基板上的非晶硅太阳能电池
影响因子：
6.9
作者：
H. Taniguchi;H. Sannomiya;K. Kajiwara;K. Nomoto;Y. Yamamoto;K. Hiyoshi;H. Kumada;M. Murakami;T. Tomita
通讯作者：
T. Tomita