Architectures for Tracking Control in Atomic Force Microscopes
Architectures for Tracking Control in Atomic Force Microscopes
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原子力显微镜中的跟踪控制架构
DOI：
10.3182/20080706-5-kr-1001.01394
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
D. Abramovitch
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Butterworth Jeffrey Austin;L. Pao;D. Abramovitch
我们评估了应用于原子力显微镜 (AFM) 的两种控制架构的性能。仅反馈控制是一种自然的解决方案并已得到广泛应用。在此基础上进行扩展，将反馈控制器与设备注入前馈滤波器相结合已被证明可以极大地提高 AFM 的跟踪性能。或者，也可以通过在参考输入进入反馈环之前使用闭环注入前馈滤波器来提高性能。在本文中，我们比较了用于控制 AFM 的植物注入架构和闭环注入架构。特别是，我们发现即使存在工厂不确定性，闭环注入架构也能产生更好的光栅扫描跟踪性能。
We evaluate the performance of two control architectures applied to atomic force microscopes (AFM). Feedback-only control is a natural solution and has been applied widely. Expanding on that, combining feedback controllers with plant-injection feedforward filters has been shown to greatly improve tracking performance in AFMs. Alternatively, performance can also be improved by the use of a closed-loop-injection feedforward filter applied to the reference input before it enters the feedback loop. In this paper, we compare the plant-injection architecture with the closed-loop-injection architecture when used in controlling AFMs. In particular, we find that even in the presence of plant uncertainty, the closed-loop-injection architecture yields better tracking performance of a raster scan.
影响因子：
1.6
作者：
Kodera, N;Yamashita, H;Ando, T
通讯作者：
Ando, T
影响因子：
1.6
作者：
Kodera, Noriyuki;Sakashita, Mitsuru;Ando, Toshio
通讯作者：
Ando, Toshio