Fabrication of InGaAs quantum nanodisk by using Bio-template and neutral beam etching process
Fabrication of InGaAs quantum nanodisk by using Bio-template and neutral beam etching process
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利用生物模板和中性束刻蚀工艺制备InGaAs量子纳米盘
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Murayama and S. Samukawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yoshikawa;A. Higo;C. Y. Lee;Y. Tamura;C. Thomas;T. Kiba;S. Ishii;H. Sodabanlu;Y. Wang;M. Sugiyama;Y. Nakano;I. Yamashita;A. Murayama and S. Samukawa
影响因子：
4
作者：
ARAKAWA, Y;SAKAKI, H
通讯作者：
SAKAKI, H
脉冲时间调制等离子体辐照期间减少 SiO2 薄膜中等离子体引起的损伤
影响因子：
1.4
作者：
Y. Ishikawa;M. Okigawa;S. Samukawa;S. Yamasaki
通讯作者：
S. Yamasaki