Review on the modeling of electrostatic MEMS.
Review on the modeling of electrostatic MEMS.
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审查静电内存的建模。
DOI：
10.3390/s100606149
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hu YC
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chuang WC;Lee HL;Chang PZ;Hu YC
静电驱动的微机电系统器件，在大多数情况下，包括耦合的能量域，如机电，光电，热电，电磁。它们的非线性工作状态使其分析变得复杂而繁琐。本文介绍了静电驱动MEMS器件的吸合电压物理模型、动态特性分析、空气阻尼效应、可靠性、数值建模方法及应用。
Electrostatic-driven microelectromechanical systems devices, in most cases, consist of couplings of such energy domains as electromechanics, optical electricity, thermoelectricity, and electromagnetism. Their nonlinear working state makes their analysis complex and complicated. This article introduces the physical model of pull-in voltage, dynamic characteristic analysis, air damping effect, reliability, numerical modeling method, and application of electrostatic-driven MEMS devices.
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影响因子：
4.6
作者：
Akar, O;Akin, T;Najafi, K
通讯作者：
Najafi, K
影响因子：
2.7
作者：
De, SK;Aluru, NR
通讯作者：
Aluru, NR
影响因子：
2.3
作者：
Chao, Paul C-P;Chiu, C-W;Tsai, C-Y
通讯作者：
Tsai, C-Y
影响因子：
2.3
作者：
Cheng, J;Zhe, J;Wu, XT
通讯作者：
Wu, XT
DOI：
10.1088/0960-1317/19/4/045013
发表时间：
2009-04-01
影响因子：
2.3
作者：
Alsaleem, Fadi M.;Younis, Mohammad I.;Ouakad, Hassen M.
通讯作者：
Ouakad, Hassen M.