THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER
THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER
复制标题
用于坚固、高功率 MEMS 能量收集器的悬臂梁厚度控制
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Maenaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Yokota;K. Kanda;T. Fujita;K. Maenaka
不同层结构、大厚度溅射锆钛酸铅薄膜的特性
DOI：
10.1109/tuffc.2020.3039230
发表时间：
2021
期刊：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
影响因子：
--
作者：
Kanda Kensuke;Koyama Tsukasa;Yoshimura Takeshi;Murakami Shinichi;Maenaka Kazusuke
通讯作者：
Maenaka Kazusuke
影响因子：
2.7
作者：
Bourouina, T;Masuzawa, T;Fujita, H
通讯作者：
Fujita, H