Characteristics of Sputtered Lead Zirconate Titanate Thin Films With Different Layer Configurations and Large Thickness
Characteristics of Sputtered Lead Zirconate Titanate Thin Films With Different Layer Configurations and Large Thickness
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不同层结构、大厚度溅射锆钛酸铅薄膜的特性
DOI：
10.1109/tuffc.2020.3039230
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Maenaka Kazusuke
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kanda Kensuke;Koyama Tsukasa;Yoshimura Takeshi;Murakami Shinichi;Maenaka Kazusuke
为了评估 Pb(Zr,Ti)O3(PZT) 薄膜（约 10 μm 厚）的特性，制备了三种不同溅射配置——单层 (SL) 沉积、带内部电极的多层 (ML) 沉积和多步 (MS) 沉积。 SL 薄膜的介电特性比 ML 和 MS 薄膜差。 MS薄膜的可靠性和压电特性特别高，e31、f常数为-9.5 C·m-2。为了研究薄膜的孔隙率，采用了重建 3-D SEM 技术。重建的 3-D SEM 图像显示 ML 和 MS 薄膜中的空隙密度降低，从而提高了它们的性能。 MS 配置提供了 PZT 薄膜的最佳介电和压电性能。
To evaluate the characteristics of Pb(Zr,Ti)O3(PZT) thin films (about 10 μm thick) with three different sputtering configurations-single-layer (SL) deposition, multilayer (ML) deposition with internal electrodes, and multistep (MS) deposition-were prepared. The SL films exhibited poorer dielectric characteristics than the ML and MS films. The reliability and piezoelectric characteristics were especially high in the MS film, with an e31, fconstant of -9.5 C · m-2. To investigate the porosity of the films, reconstructed 3-D SEM technique is employed. Reconstructed 3-D SEM images revealed decreased void densities in the ML and MS films, which improved their performance. The MS configuration provided the best dielectric and piezoelectric performance of PZT films.
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影响因子：
3.2
作者：
I. Kanno;H. Kotera;K. Wasa;T. Matsunaga;T. Kamada;R. Takayama
通讯作者：
I. Kanno;H. Kotera;K. Wasa;T. Matsunaga;T. Kamada;R. Takayama
影响因子：
1.7
作者：
Jacobsen, Harald;Prume, Klaus;Jung, Thomas
通讯作者：
Jung, Thomas
用于超声波换能器的多层 Pb(Zr,Ti)O3 薄膜
影响因子：
0.3
作者：
Shoma Nakamoto;Ryo Sano;K. Kanda;T. Fujita;K. Maenaka
通讯作者：
K. Maenaka
多次溅射法沉积厚Pb(Zr,Ti)O_3薄膜的微观结构演变和压电性能：第二部分。
影响因子：
2.7
作者：
Chee;Jae;Gun;Hyoun‐Ee Kim;Jong‐Jin Choi
通讯作者：
Jong‐Jin Choi
使用玻璃 VIA 通过三维电连接方法制造的高分辨率压电喷墨打印头
DOI：
10.1109/memsys.2009.4805430
发表时间：
2009
期刊：
2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
--
作者：
M. Murata;T. Kondoh;T. Yagi;N. Funatsu;K. Tanaka;H. Tsukuni;K. Ohno;H. Usami;R. Nayve;N. Inoue;S. Seto;N. Morita
通讯作者：
N. Morita