Growth of High-Quality A1N with Low Pit Density on SiC Substrates
Growth of High-Quality A1N with Low Pit Density on SiC Substrates
复制标题
在 SiC 衬底上生长低凹坑密度的高质量 A1N
DOI:
--
复制
发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H.Yonezu
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
A.Nakajima;Y.Furukawa;S.Koga;H.Yonezu
登录
查看更多内容
影响因子:
1.8
作者:
K. Jeganathan;M. Shimuzu;T. Ide;H. Okumura
通讯作者:
H. Okumura
影响因子:
1.4
作者:
K. Ploog;O. Brandt;R. Muralidharan;A. Thamm;P. Waltereit
通讯作者:
P. Waltereit
DOI:
--
发表时间:
1999
期刊:
影响因子:
--
作者:
U. Kaiser;A. Chuvilin;W. Richter
通讯作者:
W. Richter
影响因子:
2.1
作者:
Z. Xie;C. Wei;S. F. Chen;S. Jiang;J. Edgar
通讯作者:
J. Edgar
DOI:
10.1116/1.1539080
发表时间:
2003
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
J. Hartman;A. Roskowski;Z. Reitmeier;Tracy Kieran Mark;R. Davis;R. Nemanich
通讯作者:
R. Nemanich