Highly linear and large spring deflection characteristics of a Quasi-Concertina MEMS device
Highly linear and large spring deflection characteristics of a Quasi-Concertina MEMS device
复制标题
准蛇腹形 MEMS 器件的高线性度和大弹簧偏转特性
DOI：
10.1016/j.mee.2014.02.016
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发表时间：
2014
影响因子：
2.3
通讯作者：
H. Chong
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Grech;K. Kiang;J. Zekonyte;M. Stolz;R. Wood;H. Chong
影响因子：
38.3
作者：
通讯作者：
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