Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array
Large-output-force out-of-plane MEMS actuator array
复制标题
大输出力面外MEMS执行器阵列
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Shimokohbe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Fukushige;S.Hata;A.Shimokohbe
采用 MEMS 技术的片上可变电感器
DOI：
10.7567/ssdm.2002.f-3-2
发表时间：
2002
期刊：
The Japan Society of Applied Physics
影响因子：
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作者：
Yoshisato Yokoyama;T. Fukushige;S. Hata;K. Masu;A. Shimokohbe
通讯作者：
A. Shimokohbe