A simple technique to increase the quality factor of micro-mechanical resonators
A simple technique to increase the quality factor of micro-mechanical resonators
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提高微机械谐振器品质因数的简单技术
DOI：
10.1117/12.818673
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Turnbull R
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Turnbull R
当微机械谐振器在空气中运动时，运动阻力导致阻尼，阻尼与谐振器的速度成比例。这导致低品质因数并且降低谐振器的灵敏度，并且因此降低结合谐振器的任何传感器对任何环境变化的灵敏度。本文提出了一种利用速度反馈提高微机械谐振式传感器品质因数的方法。为了实现这一点，驱动和感测连接之间由于寄生电容而产生的馈通信号首先被消除，以便消除之前未报告的、由速度反馈和电容馈通的组合而发生的不期望的效应。使用这种技术，在空气中的谐振器的品质因数增加了两个数量级以上。
When a micromechanical resonator is moving in air, resistance to motion causes damping which is proportional to the velocity of the resonator. This results in a low quality factor and reduces the sensitivity of the resonator and hence any sensor incorporating the resonator, to any environmental changes. In this paper, a method for increasing the quality factor of micromechanical resonant sensors using velocity feedback is reported. To achieve this, the feedthrough signal between drive and sense connections due to parasitic capacitance is first cancelled in order to remove the previously unreported, undesirable effects that occur from the combination of velocity feedback and capacitive feedthrough. Using this technique, the quality factor of a resonator in air is increased by over two orders of magnitude.
影响因子：
4
作者：
MERTZ, J;MARTI, O;MLYNEK, J
通讯作者：
MLYNEK, J
影响因子：
1.6
作者：
E. A. Wachter;T. Thundat
通讯作者：
E. A. Wachter;T. Thundat
微机械谐振生物探测器品质因数的数字调谐
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
作者：
J. Tamayo;Mar Alvarez;L. Lechuga
通讯作者：
L. Lechuga