Recent advances in R&D of gas cluster ion beam processes and equipment
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R 的最新进展
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
N.Toyoda
中科院分区:
文献类型:
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作者:
I.Yamada;N.Toyoda
影响因子:
1
作者:
I. Yamada
通讯作者:
I. Yamada