Imaging of large-scale integrated circuits using laser-terahertz emission microscopy

Imaging of large-scale integrated circuits using laser-terahertz emission microscopy
复制标题

使用激光太赫兹发射显微镜对大规模集成电路进行成像

DOI:
--
复制
发表时间:
2005
期刊:
Optics Express 13
影响因子:
--
通讯作者:
M.Tonouchi
M.Tonouchi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
M.Yamashita;K.Kawase;C.Otani;T.Kiwa;M.Tonouchi

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

使用聚焦激光束加热进行 LSI 故障分析
DOI: 10.1016/s0026-2714(97)00017-6
发表时间: 1997
影响因子: 1.6
作者:
K. Nikawa;S. Inoue
通讯作者: S. Inoue
硅器件芯片失效分析(LSI失效分析特刊)
DOI: --
发表时间: 1994
期刊:
影响因子: --
作者:
K. Nikawa
通讯作者: K. Nikawa
利用 CAD 联动电子束测试系统进行 LSI 失效分析及其成本评估(LSI 失效分析特刊)
DOI: --
发表时间: 1994
影响因子: 0.5
作者:
H. Fujioka;K. Nakamae
通讯作者: K. Nakamae