Characterization and Comparison of Strained Si_1-yC_y Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy and Hot Wire Cell Method
Characterization and Comparison of Strained Si_1-yC_y Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy and Hot Wire Cell Method
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气源分子束外延和热线槽法生长应变Si_1-yC_y金属氧化物半导体场效应晶体管的表征与比较
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makoto KONAGAI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tatsuro WATAHIKI;Hanae ISHIHARA;Katsuya ABE;Akira YAMADA;Makoto KONAGAI
低温化学气相沉积法生长的 Si1-yCy 外延膜的 C 稳定性
影响因子：
1.5
作者：
S. Yagi;K. Abe;A. Yamada;M. Konagai
通讯作者：
M. Konagai