Electrical Critical Dimension Measurement Method by Integration of Test Structure into MEMS Devices
Electrical Critical Dimension Measurement Method by Integration of Test Structure into MEMS Devices
复制标题
将测试结构集成到 MEMS 器件中的电气临界尺寸测量方法
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Shibata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Ito;Yoshio Mita;M.Kubota;F.Marty;T.Bourouina;T.Shibata
最小化希腊交叉测试结构中焦耳热影响的设计规则
影响因子：
2.7
作者：
S. Enderling;M.H. Dicks;S. Smith;J. Stevenson;A. Walton
通讯作者：
A. Walton