Confirmation of electric properties of traps at silicon-on-insulator (SOI)/buried oxide (BOX) interface by three-dimensional-device simulation

Confirmation of electric properties of traps at silicon-on-insulator (SOI)/buried oxide (BOX) interface by three-dimensional-device simulation
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通过三维器件模拟确认绝缘体上硅 (SOI)/埋氧层 (BOX) 界面陷阱的电特性

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Physica E 24
影响因子:
--
通讯作者:
Y.Nakajima
Y.Nakajima
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y.Nakajima

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: 10.1143/jjap.42.2004
发表时间: 2003
影响因子: 1.5
作者:
Y. Nakajima;H. Tomita;K. Aoto;Nobuhiro Ito;T. Hanajiri;T. Toyabe;T. Morikawa;T. Sugano
通讯作者: T. Sugano