Fabrication of Vertically Aligned Carbon Nanostructures by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Depesition
Fabrication of Vertically Aligned Carbon Nanostructures by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Depesition
复制标题
微波等离子体增强化学气相沉积垂直排列碳纳米结构的制备
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Hiramatsu;K.Kato;C.H.Lau;J.S.Foord;M.Hori
片状等离子体化学气相沉积法高速沉积类金刚石碳膜
DOI：
10.1116/1.581693
发表时间：
1999
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
R. Nonogaki;S. Yamada;T. Araki;T. Wada
通讯作者：
T. Wada
影响因子：
1.5
作者：
W. Hong;H. Shih;S. Tsai;Chen;F. Tarntair;Huang
通讯作者：
Huang