New Technique for Suppressing Oxygen Impurity in AlGaAs Layer during Molecular Beam Epitaxy by Surface Segregation

New Technique for Suppressing Oxygen Impurity in AlGaAs Layer during Molecular Beam Epitaxy by Surface Segregation
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通过表面偏析抑制分子束外延过程中AlGaAs层中氧杂质的新技术

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys 44
影响因子:
--
通讯作者:
T.Nishinaga
T.Nishinaga
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S.Naritsuka;O.Kobayashi;K.Mitsuda;T.Nishinaga

文献摘要

参考文献

被引文献

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