Dominant growth of higher manganese silicide film on Si substrate by introducing a Si oxide capping layer

Dominant growth of higher manganese silicide film on Si substrate by introducing a Si oxide capping layer
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通过引入氧化硅覆盖层在硅衬底上主要生长高硅化锰薄膜

DOI:
10.1016/j.allcom.2017.10.124
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发表时间:
2018-04
影响因子:
6.2
通讯作者:
Cao Guoqin
Cao Guoqin
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
Cao Shuaiqi;Wang Qingjie;Hu Junhua;Fu Zhenya;Bai Kuifeng;Shao Guosheng;Cao Guoqin

文献摘要

参考文献

被引文献

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