Mechanism of anisotropic etching of diamond (111) surfaces by hydrogen plasma treatment
Mechanism of anisotropic etching of diamond (111) surfaces by hydrogen plasma treatment
复制标题
氢等离子体处理金刚石(111)表面各向异性刻蚀机理
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Inokuma
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H. Kuroshima;N. Tokuda;T. Makino;S. Yamasaki;T. Inokuma
影响因子:
1.5
作者:
T. Makino;N. Tokuda;H. Kato;M. Ogura;H. Watanabe;S. Ri;S. Yamasaki;H. Okushi
通讯作者:
H. Okushi
影响因子:
3.7
作者:
Liao, Meiyong;Koide, Yasuo;Kleider, Jean-Paul
通讯作者:
Kleider, Jean-Paul