Mechanism of anisotropic etching of diamond (111) surfaces by hydrogen plasma treatment

Mechanism of anisotropic etching of diamond (111) surfaces by hydrogen plasma treatment
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氢等离子体处理金刚石(111)表面各向异性刻蚀机理

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Inokuma
T. Inokuma
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Kuroshima;N. Tokuda;T. Makino;S. Yamasaki;T. Inokuma

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参考文献

被引文献

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DOI: 10.1143/jjap.45.l1042
发表时间: 2006
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作者:
T. Makino;N. Tokuda;H. Kato;M. Ogura;H. Watanabe;S. Ri;S. Yamasaki;H. Okushi
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DOI: 10.1103/physrevb.78.045112
发表时间: 2008-07-01
期刊: PHYSICAL REVIEW B
影响因子: 3.7
作者:
Liao, Meiyong;Koide, Yasuo;Kleider, Jean-Paul
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