Epitaxial growth of GaN layers on metallic TiN buffer layers

Epitaxial growth of GaN layers on metallic TiN buffer layers
复制标题

金属 TiN 缓冲层上外延生长 GaN 层

DOI:
--
复制
发表时间:
2006
期刊:
Journal of Electronic Materials 35・10
影响因子:
--
通讯作者:
M.
M.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y.Uchida;K.Ito;S.Tsukimoto;Y.Ikemoto;K.Hirata;N.Shibata;M.

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

通过反应磁控溅射在 MgO(100) 上沉积外延 TiN 薄膜的生长:沉积过程中低能离子辐照的作用
DOI: --
发表时间: 1988
期刊:
影响因子: --
作者:
L. Hultman;S. Barnett;J. Sundgren;J. Greene
通讯作者: J. Greene