Improvement of fabrication accuracy of vertically curved silicon waveguide optical coupler using hard mask shielded ion implantation bending
Improvement of fabrication accuracy of vertically curved silicon waveguide optical coupler using hard mask shielded ion implantation bending
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采用硬掩膜屏蔽离子注入弯曲技术提高垂直弯曲硅波导光耦合器的制造精度
DOI：
10.35848/1347-4065/ab9cd8
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发表时间：
2020
影响因子：
1.5
通讯作者：
Sakakibara Youichi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yoshida Tomoya;Atsumi Yuki;Omoda Emiko;Sakakibara Youichi
具有低损耗和平坦波长窗口的垂直弯曲硅波导耦合器
影响因子：
4.7
作者：
吉田 知也;面田 恵美子;渥美 裕樹;西 孝;田島 渉吾;三浦登;森 雅彦;榊原 陽一
通讯作者：
榊原 陽一