Effect of oxygen plasma irradiation on hydrogen silsesquioxane nanopatterns replicated by room-temperature nanoimprinting
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复制标题
氧等离子体辐射对室温纳米压印复制的氢倍半硅氧烷纳米图案的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinji Matsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori Kawamori;Ken-ichiro Nakamatsu;Yuichi Haruyama;Shinji Matsui
影响因子：
1.5
作者：
M. Komuro;J. Taniguchi;S. Inoue;Naoya Kimura;Yuji Tokano;H. Hiroshima;S. Matsui
通讯作者：
S. Matsui