Thermal Stability of SiBCN Films

Thermal Stability of SiBCN Films
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SiBCN 薄膜的热稳定性

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Tribology Online 3(5)
影响因子:
--
通讯作者:
M Ikeyama
M Ikeyama
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
N Hayashi;J Choi;T Kumagai;T Kato;M Kawaguchi;S Nakao;M Ikeyama

文献摘要

参考文献

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