Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display
Fabrication and characterization of SMA film actuator array with bias spring for high-power MEMS tactile display
复制标题
用于高功率 MEMS 触觉显示器的带有偏置弹簧的 SMA 薄膜致动器阵列的制造和表征
DOI：
10.1016/j.mee.2020.111307
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发表时间：
2020
影响因子：
2.3
通讯作者：
T. Mineta
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Jiale Xu;Yusuke Kimura;Kazuki Tsuji;Konomu Abe;T. Shimizu;Hiroyasu Hasegawa;T. Mineta
影响因子：
2.4
作者：
BOLANOWSKI, SJ;GESCHEIDER, GA;CHECKOSKY, CM
通讯作者：
CHECKOSKY, CM