Qualitative Edge Topology Inspection and Interpretation by Enhanced Knife-Edge Interferometry

Qualitative Edge Topology Inspection and Interpretation by Enhanced Knife-Edge Interferometry
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通过增强型刀口干涉测量法进行定性边缘拓扑检查和解释

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
American Society for Precision Engineering
影响因子:
--
通讯作者:
ChaBum Lee
ChaBum Lee
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Zhikun Wang;ChaBum Lee

文献摘要

参考文献

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作者:
Chabum Lee;Sun;Joshua A. Tarbutton
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