Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching

Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching
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通过化学各向异性蚀刻制造阵列三维微结构的非光刻图案转移

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Sensors and Actuators A116
影响因子：
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通讯作者：
K.Sato
K.Sato
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M.Shikida;M.Odagaki;N.Todoroki;M.Ando;Y.Ishihara;T.Ando;K.Sato

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI： 10.1016/s0924-4247(02)00017-1
发表时间： 2002-04-01
期刊： SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
影响因子： 4.6
作者：
Shikida, M;Nanbara, K;Asaumi, K
通讯作者： Asaumi, K