Multisensor-Messsystem zur Messung von Mikro- und Nanotopographien
Multisensor-Messsystem zur Messung von Mikro- und Nanotopographien
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用于测量微米和纳米形貌的多传感器测量系统
DOI：
10.1515/teme-2017-0031
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Lehmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Hagemeier;P. Lehmann
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垂直扫描白光干涉仪的横向分辨率和传输特性。
影响因子：
1.9
作者：
Weichang Xie;P. Lehmann;J. Niehues
通讯作者：
J. Niehues
多传感器测量系统 上层检测技术
DOI：
10.1515/teme-2014-0402
发表时间：
2014
期刊：
tm - Technisches Messen
影响因子：
--
作者：
A. Keck;M. Böhm;Karl Lukas Knierim;O. Sawodny;Marc Gronle;W. Lyda;W. Osten
通讯作者：
W. Osten
使用具有机械路径长度调制的光纤耦合共路径干涉仪测量距离变化
影响因子：
2.4
作者：
M. Schulz;P. Lehmann
通讯作者：
P. Lehmann
用于微米和纳米计量的高分辨率光纤耦合干涉点传感器
DOI：
10.1515/teme-2015-0006
发表时间：
2014
期刊：
tm - Technisches Messen
影响因子：
--
作者：
M. Schake;M. Schulz;P. Lehmann
通讯作者：
P. Lehmann
3D 干涉和共焦显微镜中边缘和陡坡的影响
DOI：
10.1117/12.2228307
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
W. Xie;S. Hagemeier;C. Woidt;H. Hillmer;P. Lehmann
通讯作者：
P. Lehmann