High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology
High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology
复制标题
用于微米和纳米计量的高分辨率光纤耦合干涉点传感器
DOI：
10.1515/teme-2015-0006
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Lehmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Schake;M. Schulz;P. Lehmann
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DOI：
10.1117/12.2051508
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
Holger Knell
通讯作者：
Holger Knell
使用具有机械路径长度调制的光纤耦合共路径干涉仪测量距离变化
影响因子：
2.4
作者：
M. Schulz;P. Lehmann
通讯作者：
P. Lehmann
光学显微轮廓测量和测量信息
DOI：
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发表时间：
1987
期刊：
影响因子：
--
作者：
Klaus Leonhardt;Karl;H. Tiziani
通讯作者：
H. Tiziani
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
C. Meneses;U. Rivera
通讯作者：
U. Rivera
干涉测量信令器 faseroptischer 传感器 mit mechanisch oszillierender Sonde
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Schulz
通讯作者：
M. Schulz