エアロゾル化ガスデポジションによる膜形成技術の進展 ―歴史，成膜原理そして実用化研究―
エアロゾル化ガスデポジションによる膜形成技術の進展 ―歴史，成膜原理そして実用化研究―
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雾化气相沉积成膜技术的进展 - 历史、成膜原理和实践研究 -
DOI：
10.2497/jjspm.63.937
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
英一 小澤
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
英嗣 渕田;栄治 時崎;英一 小澤
影响因子：
1.1
作者：
Sakamaki, Ryo;Hoshina, Takuya;Tsurumi, Takaaki
通讯作者：
Tsurumi, Takaaki
影响因子：
64.8
作者：
IIJIMA, S
通讯作者：
IIJIMA, S