Arrhenius and non Arrhenius behaviour during anisotropic etching
Arrhenius and non Arrhenius behaviour during anisotropic etching
复制标题
各向异性蚀刻过程中的阿伦尼乌斯和非阿伦尼乌斯行为
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.A.Gosalvez;R.M.Nieminen;K.Sato
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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作者：
I. Oppenheim
通讯作者：
I. Oppenheim
DOI：
10.1109/iret-mil.1960.5008274
发表时间：
1960
期刊：
IRE Transactions on Military Electronics
影响因子：
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作者：
W. Glendinning
通讯作者：
W. Glendinning
DOI：
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发表时间：
1977
期刊：
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影响因子：
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作者：
Bernard Smith
通讯作者：
Bernard Smith