A Development of Automated Chemical-Solution-Deposition Machine for Micro Actuator with Multilayered PZT Thick Film
A Development of Automated Chemical-Solution-Deposition Machine for Micro Actuator with Multilayered PZT Thick Film
复制标题
多层PZT厚膜微执行器自动化化学溶液沉积机的研制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Esashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kawai;N.Moriwaki;T.Ono;M.Esashi
快速热处理溅射锆钛酸铅薄膜的结晶
DOI：
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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作者：
C. V. Kumar;R. Pascual;M. Sayer
通讯作者：
M. Sayer