Hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation of PTFE
Hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation of PTFE
复制标题
脉冲等离子体烧蚀PTFE涂层非晶碳膜的硬度增加
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et.al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shingo KAWARA;Hiroyuki KOIZUMI;Hiroyuki KOUSAKA;et.al.
三种不同类型的射频制备氟碳聚合物薄膜
影响因子：
5.4
作者：
S. Iwamori;N. Hasegawa;A. Uemura
通讯作者：
A. Uemura