Influence of processing conditions on the titanium–aluminum contact metallization on a silicon wafer for thermal management

Influence of processing conditions on the titanium–aluminum contact metallization on a silicon wafer for thermal management
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加工条件对硅片上钛铝接触金属化热管理的影响

DOI:
--
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发表时间:
2023
期刊:
Journal of vacuum science technology B Microelectronics and nanometer structures
影响因子:
--
通讯作者:
Singh, Raj N
Singh, Raj N
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Manish Singh, Manish;Ramasubramanian, Lakshmi Narayanan;Singh, Raj N

文献摘要

参考文献

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