Analysis of tool-mass-acceleration effects onto sub-aperture computer controlled polishing (CCP)
Analysis of tool-mass-acceleration effects onto sub-aperture computer controlled polishing (CCP)
复制标题
工具质量加速度对子孔径计算机控制抛光 (CCP) 的影响分析
DOI:
--
复制
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Faehnle O
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Faehnle O
DOI:
--
发表时间:
2002
期刊:
影响因子:
--
作者:
R. Bingham;D. Walker
通讯作者:
D. Walker
DOI:
--
发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
--
作者:
O. Faehnle
通讯作者:
O. Faehnle