Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide
Metal Filling in Deep Nano Trechnces/Holes using Supercritical Carbon Dioxide
复制标题
使用超临界二氧化碳在深纳米沟槽/孔中进行金属填充
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.Kondoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E.Kondoh;M.Hishikawa;M.Yanagihara;K.Shigama;E.Kondoh
部分导电模板电镀高深宽比金属微型零件的制造工艺
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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作者：
J. Prokop;G. Finnah;J. Lorenz;V. Piotter;R. Ruprecht;J. Hausselt
通讯作者：
J. Hausselt
DOI：
10.1109/memsys.2001.906499
发表时间：
2001
期刊：
Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.01CH37090)
影响因子：
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作者：
N. Watanabe;M. Suda;K. Furuta;T. Sakuhara
通讯作者：
T. Sakuhara