Pulsed dc magnetron-sputtering of microcrystalline silicon

Pulsed dc magnetron-sputtering of microcrystalline silicon
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微晶硅脉冲直流磁控溅射

DOI：
10.1016/s0040-6090(01)01552-8
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
B. Selle
B. Selle
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
P. Reinig;V. Alex;F. Fenske;W. Fuhs;B. Selle

文献摘要

参考文献

被引文献

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