HAREM:High Aspect Ratio Etching and Metallization
HAREM:High Aspect Ratio Etching and Metallization
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HAREM:高深宽比蚀刻和金属化
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H. Fuiita
中科院分区:
文献类型:
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作者:
E.Sarajlic;C. Yamahata;M. Cordero;D. Collard;H. Fuiita
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DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Proceedings of 2006 International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology
影响因子:
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作者:
C.Yamahata;T.Takekawa;K.Ayano;M.Hosogi;M.Kumemura;B.Legrand;D.Collard;G.Hashiguchi;H.Fujita
通讯作者:
H.Fujita
DOI:
10.1109/sensor.1997.613732
发表时间:
1997
期刊:
Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97)
影响因子:
--
作者:
T. Brosnihan;J. M. Bustillo;A. Pisano;R. Howe
通讯作者:
R. Howe
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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作者:
C.Yamahata;T. Takekawa;M. Kumemura;M. Hosogi;G. Hashiguchi;D. Collardand H. Fujita
通讯作者:
D. Collardand H. Fujita
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
作者:
C.Yamahata;D. Collard;A. Domenget;M. Hosogi;M. Kumemura;G. Hashiguchi;H. Fujita
通讯作者:
H. Fujita