HAREM:High Aspect Ratio Etching and Metallization

HAREM:High Aspect Ratio Etching and Metallization
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HAREM:高深宽比蚀刻和金属化

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H. Fuiita
H. Fuiita
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
E.Sarajlic;C. Yamahata;M. Cordero;D. Collard;H. Fuiita

文献摘要

参考文献

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