Variable Frequency Control for SPIDER-Driven Ultra-Precision Stages
Variable Frequency Control for SPIDER-Driven Ultra-Precision Stages
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用于 SPIDER 驱动超精密平台的变频控制
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Seiji Hashimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
橋本 誠司;橋本 誠司;Seiji Hashimoto;Seiji Hashimoto
基于非谐振超声电机摩擦模型的超精密载物台控制
DOI：
10.1109/amc.2004.1297929
发表时间：
2004
期刊：
The 8th IEEE International Workshop on Advanced Motion Control, 2004. AMC '04.
影响因子：
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作者：
S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ohishi;T. Ishikawa;K. Kosaka;Y. Egashira;H. Kubota;T. Ohmi
通讯作者：
T. Ohmi