Generation of Carbon Dust Particles in Radio Frequency Discharge Plasmas

Generation of Carbon Dust Particles in Radio Frequency Discharge Plasmas
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射频放电等离子体中碳尘颗粒的产生

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Abstracts of 7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujita
H.Fujita
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T.Misawa;T.Goto;Y.Ohtsu;H.Fujita

文献摘要

参考文献

被引文献

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Micro-disperse particles as probes for plasma surface interaction
DOI： 10.1016/s0040-6090(00)01439-5
发表时间： 2000-12-01
期刊： THIN SOLID FILMS
影响因子： 2.1
作者：
Kersten, H;Deutsch, H;Kroesen, GMW
通讯作者： Kroesen, GMW